Tetrakis (diethylamino) zirconium (IV) | TDEAZ | Zr[N(CH2CH3)2]4 | 6N

Tetrakis (diethylamino) zirconium (IV) is precursor of ZrO2 in chemical deposition process, known as high-k insulating materials in COMS and DRAM; a resistive memory dielectric layer precursor; lithium-ion battery anode cladding deposition precursor. It is used to prepare specialty ceramics; catalyst of bridged metallocene compounds.